高機能中性子鏡製造装置

Neutron Mirror Fabrication System

スーパーミラー、モノクロメータ、ポーラライザ・アナライザといった多様な高機能多層膜中性子鏡の開発を、イオンビームスパッタ装置及び大面積蒸着装置を用いて行っている。平成15年6月時点で、世界最高性能であるニッケルの5倍の全反射臨界角を持つスーパーミラーが開発されている。

イオンビームスパッタ装置

本装置は、誘導コイルによって励起したプラズマをグリッドに印加した電圧を用いてイオンビームとして引き出し、それを製膜材料に照射することによって、試料基板上に高精度な薄膜を製膜する装置である。試料基板の取り付け可能最大寸法は直径20 cmであり、比較的大きな中性子鏡の製作が可能である。ターゲットは最大5種類まで取り付けることができ、それらの材質を交互に積層することが可能である。また、イオンソースとしては、スパッタ用及びアシスト用がある。スパッタ用はイオンビームでターゲットを反跳させて製膜を行うものである。アシスト用ソースは、製膜中または製膜後に試料表面にイオンビームを入射させるものであり、製膜中に行うことにより反応性スパッタリングが可能になるとともに、製膜後に行うことによりイオンポリッシュを行うことができる。また、基板に磁気バイアスを印加することができ、磁性膜に磁気配向を持たせることも可能である。
イオンビームスパッタ装置
イオンビームスパッタ装置

大面積蒸着装置

電子ビームによる蒸着装置であり、大面積中性子鏡の製作や特殊試料保持器具を利用する場合に利用されている。直径 100 cm、高さ60 cmという大型真空容器を有しており、その中で11×35 cm²の中性子鏡が一度に8枚製作可能である。